ESA系列
EBARA維修為上凱儀主要維修品牌,具有強(qiáng)大的維修能力。并具有全系列維修能力,從最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。主要客戶為國(guó)內(nèi)各半導(dǎo)體、光電等主要客戶:臺(tái)積電(TSMC)、華虹宏力(HHNEC)、華潤(rùn)上華(CSMC)、杭州士蘭(SL)等。